К6 Р18 Райзер, Юрий Петрович. Высокочастотный емкостный разряд [Текст] : физика. Техника эксперимента. Приложения: [Учеб. пособие для вузов, по направлению "Техн. физика"] / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко. - М. : НАУКА, 1995. - 310 с. : ил Библиогр.: с. 299-310 Рубрики: Газовые лазеры, активные среды Высокочастотный разряд Микроэлектронные приборы, плазмохимическая технология Плазменная металлизация Дескрипторы: моногр Доп.точки доступа: Шнейдер, М.Н; Яценко, Н.А Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 3 П845 Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур [Текст] : тр. второго рос. симп., Обнинск, 22-24 сент. 1997 г. / Под ред. Гинкина В.П. - Обнинск : [б. и.], 1998. - 408 с. : ил В надзаг.: Гос. науч. центр Рос. Федерации Физ.-энерг. ин-т им. А.И. Лейпунского. - Библиогр. в конце докл Рубрики: выращивание кристаллов и монокристаллов, Чохральского метод тепломассоперенос микроэлектроника, полупроводниковые приборы, производство, покрытия Дескрипторы: конф Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 Т985 Тюрин, Юрий Иванович. Аккумулирующие свойства водорода в твердом теле [Текст] / Ю. И. Тюрин, И. П. Чернов. - М. : Энергоатомиздат, 2000. - 287 с. : ил Библиогр.: с. 267-281 Рубрики: микроэлектронные приборы, производство Дескрипторы: моногр Доп.точки доступа: Чернов, Иван Петрович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 Ф333 Федоров, Вадим Константинович. Контроль и испытания в проектировании и производстве радиоэлектронных средств : монография / В. Федоров, Н. Сергеев, А. Кондрашин ; под ред. В. К. Федорова. - М. : Техносфера, 2005. - 502 с. : ил. ; 24 см. - Библиогр.: с. 501-502. - 1500 экз.. -
Рубрики: Радиоэлектронные приборы--проектирование Радиоэлектронные приборы--проектирование Кл.слова (ненормированные): Радиоэлектронная аппаратура - Производство - Технический контроль -- Радиоэлектронная аппаратура - Испытание Доп.точки доступа: Сергеев, Н.П.; Кондрашин, А.А. Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 Ч512 Чесноков, Владимир Владимирович. Лазерные наносекундные микротехнологии : монография / В. В. Чесноков, Е. Ф. Резникова, Д. В. Чесноков ; М-во образования Рос. Федерации, Сиб. гос. геодез. акад. - Новосибирск : СГГА, 2003. - 298 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 281-298. - 300 экз.. -
Рубрики: Микроэлектроника--лазерные технологии Кл.слова (ненормированные): Лазерные импульсы сверхкороткие - Взаимодействие с веществом Доп.точки доступа: Резникова, Елена Федоровна; Чесноков, Дмитрий Владимирович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Шифр см. у томов Э687 Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников / под ред. К.А. Джексона, В. Шретера; пер. с англ. под ред. Э.П. Домашевской. - Воронеж : Водолей, 2004- . - Пер. изд. : Handbook of semiconductor technology. -
Рубрики: Полупроводниковая технология Полупроводниковые материалы--производство Доп.точки доступа: Джексон, К.А. \ред.\ Свободных экз. нет |
З 84 М42 Медведев, А. Технология производства печатных плат : монография / А. Медведев. - М. : Техносфера, 2005. - 358 с. : ил. ; 22 см. - (Мир электроники ; VII-10). - Библиогр.: с. 357-358. - 5000 экз.. -
Рубрики: Печатные платы--производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Производство Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Пр3888 Пр3888/62 Пр3888/62 / Пр3888/62-02 Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии : сборник / отв. ред. Ю. А. Новиков. - М. : Наука, 2006. - 142,[5] с. : ил. ; 24 см. - (Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390 ; т. 62). - Библиогр. в конце ст. - 400 экз. Рез. ст. англ.
Рубрики: Микроэлектронная технология Линейные размеры--измерения Кл.слова (ненормированные): Линейные измерения Доп.точки доступа: Новиков, Ю.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/665 Pr1068/665 / Pr1068/665-02 Forsgren, Katarina. CVD and ALD of group IV- and V-oxides for dielectric applications : сборник / K. Forsgren. - Uppsala : [s. n.], 2001. - 55 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 665) Bibliogr.: p. 49-55 Перевод заглавия: Химическое парофазное осаждение и отложение атомарного слоя материалов IV группы и V-окислов для диэлектрических применений Рубрики: осаждение--тонких пленок--в микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): газофазное осаждение -- окислы тантала -- циркония и гафния Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/621 Pr1068/621 / Pr1068/621-02 Pasquariello, Donato. Plasma assisted low temperature semiconductor wafer bonding : сборник / D. Pasquariello. - Uppsala : [s. n.], 2001. - 37 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 621) Bibliogr.: p. 35-37 Перевод заглавия: Плазменное низкотемпературное соединение полупроводниковых пластин Рубрики: Полупроводниковые приборы--производство Кл.слова (ненормированные): соединение пластин Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/594 Pr1068/594 / Pr1068/594-02 Schuisky, Mikael. CVD and ALD in the Bi-Ti-O system : сборник / M. Schuisky. - Uppsala : [s. n.], 2000. - 47 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 594) Bibliogr.: p. 43-46 Перевод заглавия: Химическое осаждение из паровой фазы и отложение атомарного слоя в системе Bi-Ti-O Рубрики: осаждение--тонких пленок--в микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): окислы титана -- окислы висмута -- эпитаксия Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/445 Pr1068/445 / Pr1068/445-02 Jonsson, Lars B. Experiments and modeling of thin film processes : сборник / L.B. Jonsson. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 47 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 445) Bibliogr.: p. 46-47 Перевод заглавия: Эксперименты и моделирование процессов в тонких пленках Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство Кл.слова (ненормированные): микрочипы Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/456 Pr1068/456 / Pr1068/456-02 Thornell, Greger. Minuscular sculpturing [Text] : сборник / G. Thornell. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 42 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 456) Bibliogr.: p. 41-42 Перевод заглавия: Микроформирование структуры из диспергированных растворов Рубрики: Интегральные схемы--Производство Кл.слова (ненормированные): микроструктуры Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/475 Pr1068/475 / Pr1068/475-02 Vangbo, Mattias. In the structure of microstructure technology : сборник / M. Vangbo. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 53 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 475) Bibliogr.: p. 51-53 Перевод заглавия: Микроструктурная технология как структура Рубрики: Микроэлектронная технология Кл.слова (ненормированные): химическое травление -- микроструктуры Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/484 Pr1068/484 / Pr1068/484-02 Pangsten, Pelle. Microstructure technology in silicon, quartz, and diamond : сборник / P. Pangsten. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 37 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 484) Bibliogr.: p. 35-37 Перевод заглавия: Микроструктурная технология применительно к кремнию, кварцу и алмазу Рубрики: Микроэлектронная технология Кл.слова (ненормированные): кремний -- микроструктуры Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 Д952 З 84 / Д952-02 Дюваль, Пьер. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности / П. Дюваль ; Пер. с англ. Н.В. Васильченко и др.; Под ред. С.А. Неустроева. - М. : Мир, 1992. - 263 с. : ил., табл. - Пер. изд. : High Vacuum Production in the Microelectronics Industry / P. Duval. - Рубрики: Микроэлектронная технология--Оборудование Дескрипторы: моногр Доп.точки доступа: Duval, P. Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1102 Pr1102/6816 Pr1102/6816 / Pr1102/6816-02 Schreck, Sabine. Thermische und elektrische Leitpfade in Cordierit durch lasergestutztes Dispergieren von metallischen Hartstoffen und Wolfram [Text] : монография / S. Schreck. - Karlsruhe : [s. n.], 2003. - VI,153 S : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum (Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; FZKA 6816). - Bibliogr.: S. 144-153 Res. auch Engl. Перевод заглавия: Тепловые и электрические проводящие пути, образующиеся в кордиерите под влиянием лазерного диспергирования с помощью жестких частиц и вольфрама
Рубрики: Интегральные схемы--Производство Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1102 Pr1102/6998 Pr1102/6998 / Pr1102/6998-02 Heldele, Richard. Rontgenlithographie, Vernetzungs- und Pyrolyseverhalten des prakeramischen Polymers ABSE / R. Heldele. - Karlsruhe : [s. n.], 2004. - VII,98 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum (Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; FZKA 6998). - Res. auch Engl. - Bibliogr.: S. 94-96 Перевод заглавия: Рентгеновская литография, образование поперечных связей и пиролизное поведение полимера ABSE
Рубрики: Микроэлектронная технология Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Шифр см. у томов Particles in gases and liquids: detection, characterization, and control / Ed. by K. L. Mittal. - New York ; London : Plenum press, 19 - Перевод заглавия: Частицы в газах и жидкостях : обнаружение, характеристики и контроль Рубрики: Чистые производственные помещения--Для производства микроэлектронных изделий Кл.слова (ненормированные): микрозагрязнения -- чистое производство Дескрипторы: многот -- конф.м Доп.точки доступа: Mittal, K.L. \ed.\ Свободных экз. нет |
Пр3939 Пр3939/1 Пр3939/1 / Пр3939/1-02 Проблемы микроэлектроники : сборник / Отв. ред. В.И. Рыжий. - Москва : Наука, 1991. - 95 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.1). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Рыжий, В.И. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |