Pr1068 Pr1068/475 Pr1068/475 / Pr1068/475-02 Vangbo, Mattias. In the structure of microstructure technology : сборник / M. Vangbo. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 53 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 475) Bibliogr.: p. 51-53 Перевод заглавия: Микроструктурная технология как структура Рубрики: Микроэлектронная технология Кл.слова (ненормированные): химическое травление -- микроструктуры Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |