Pr1068 Pr1068/484 Pr1068/484 / Pr1068/484-02 Pangsten, Pelle. Microstructure technology in silicon, quartz, and diamond : сборник / P. Pangsten. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 37 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 484) Bibliogr.: p. 35-37 Перевод заглавия: Микроструктурная технология применительно к кремнию, кварцу и алмазу Рубрики: Микроэлектронная технология Кл.слова (ненормированные): кремний -- микроструктуры Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |