Pr1068 Pr1068/166 Pr1068/166 / Pr1068/166-02 Ljungberg, Karin. Phenomenology of silicon wafer bonding : сборник / K. Ljungberg. - Uppsala : [s. n.], 1995. - 59 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 166) Bibliogr.: p. 53-59 Перевод заглавия: Феноменология связи кремниевых слоев Рубрики: Поверхностные явления--В полупроводниках Полупроводники--Химия Кл.слова (ненормированные): связанные границы раздела -- электрические свойства Дескрипторы: сб пр -- дис Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |