Pr1068 Pr1068/409 Pr1068/409 / Pr1068/409-02 Greek, Staffan. Mechanical considerations in the design of high-precision surface micromachined devices [Text] : сборник / S. Greek. - Uppsala : [s. n.], 1998. - 46 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 409) Bibliogr.: p. 45-46 Перевод заглавия: Механические свойства приборов с высокоточной микрообработкой поверхности Рубрики: Приборы--Механическая прочность--Производство Кл.слова (ненормированные): приборостроение Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |