З 84 Я89 Яфаров, Равиль Кяшшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 205-216. - 300 экз.. -
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное Держатели документа: ГПНТБ СО РАН Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |