К6 Р18 Райзер, Юрий Петрович. Высокочастотный емкостный разряд [Текст] : физика. Техника эксперимента. Приложения: [Учеб. пособие для вузов, по направлению "Техн. физика"] / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко. - М. : НАУКА, 1995. - 310 с. : ил Библиогр.: с. 299-310 Рубрики: Газовые лазеры, активные среды Высокочастотный разряд Микроэлектронные приборы, плазмохимическая технология Плазменная металлизация Дескрипторы: моногр Доп.точки доступа: Шнейдер, М.Н; Яценко, Н.А Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
В33 Р18 Райзер, Юрий Петрович. Физика газового разряда / Ю. П. Райзер. - 3-е изд., перераб. и доп. - Долгопрудный : Интеллект, 2009. - 734 с. - Библиогр.: с. 725-734. -
Рубрики: газовый разряд Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |