З 85 К43 З 85 / К43-02 Киреев, Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография-процессы и оборудование / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил. - Библиогр.: с. 314-319. -
Рубрики: Нанотехнология--В электронике Интегральные схемы--Производство Перейти: Оглавление Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |