З 84 Я89 Яфаров, Равиль Кяшшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 205-216. - 300 экз.. -
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное Держатели документа: ГПНТБ СО РАН Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 Г167 Галперин, Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. -
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Г54 Е924 Г54 / Е924-02 Ефремов, Александр Михайлович. Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2013. - 215 с. : ил. ; 23 см. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце докл. - 300 экз.. -
Рубрики: Плазма--Химические реакции в плазме Газоразрядная плазма Микроэлектронные приборы--Производство Кл.слова (ненормированные): Хлор - Физико-химические свойства -- Плазма (физ.) газоразрядная - Физика Доп.точки доступа: Светцов, Владимир Иванович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1068 Pr1068/445 Pr1068/445 / Pr1068/445-02 Jonsson, Lars B. Experiments and modeling of thin film processes : сборник / L.B. Jonsson. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 47 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 445) Bibliogr.: p. 46-47 Перевод заглавия: Эксперименты и моделирование процессов в тонких пленках Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство Кл.слова (ненормированные): микрочипы Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
И-З 84 D46 И-З 84 / D46-02 Design of systems on a chip: design and test / ed. by R. Reis [et al.]. - Dordrecht : Springer, 2006. - X,233 p. : ill. - Bibliogr. at the end of the chapters. - Auth. ind.: p. 233 Перевод заглавия: Проектирование систем на чипе: проектирование и испытания
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Проектирование Микроэлектронные приборы--Производство Микроэлектронные приборы--Технический контроль Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Reis, R. \ed.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
И-З 84 Н254 И-З 84 / Н254-02 Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / [В. А. Емельянов [и др.] ; НАН Беларуси, Объед. ин-т машиностроения. - Минск : Беларуская навука, 2014. - 411 с. : ил. - Библиогр.: с. 382-407 Авт. указаны на обороте тит. л.
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Емельянов, Виктор Андреевич; Рогачев, Александр Владимирович; Федосенко, Николай Николаевич; Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 84 И265 З 84 / И265-02 Игнатов, Александр Николаевич. Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие: [по направлению подготовки 210400 "Телекоммуникация"] / А. Н. Игнатов, И. В. Решетнева ; Федер. агентство связи, Сиб. гос. ун-т телекоммуникаций и информатики. - Новосибирск : СибГУТИ, 2011. - 211 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 206-211. -
Рубрики: Микроэлектроника--Материалы Микроэлектронные приборы--Производство Наноэлектроника--Материалы Наноэлектронные устройства--Производство Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Решетнева, Ирина Владимировна Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |