З 3 П845 Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур [Текст] : тр. второго рос. симп., Обнинск, 22-24 сент. 1997 г. / Под ред. Гинкина В.П. - Обнинск : [б. и.], 1998. - 408 с. : ил В надзаг.: Гос. науч. центр Рос. Федерации Физ.-энерг. ин-т им. А.И. Лейпунского. - Библиогр. в конце докл Рубрики: выращивание кристаллов и монокристаллов, Чохральского метод тепломассоперенос микроэлектроника, полупроводниковые приборы, производство, покрытия Дескрипторы: конф Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |