З 84 Б492 З 84 / Б492-02 Берлин, Евгений Владимирович. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2018. - 461 с. : ил. - Библиогр.: с. 438-461. -
Рубрики: Осаждение--Тонких пленок--В микроэлектронике Плазмохимическое травление--В производстве микроэлектронных приборов Доп.точки доступа: Григорьев, Василий Юрьевич; Сейдман, Лев Александрович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |