З 85 Н405 Неволин, Владимир Кириллович. Зондовые нанотехнологии в электронике : монография / В. Неволин. - М. : Техносфера, 2005. - 147, [1] с. : ил. ; 22 см. - (Мир электроники ; VII-11). - Библиогр. в конце гл. - 1500 экз.. -
Рубрики: Наноэлектроника--производство Кл.слова (ненормированные): Нанотехнология -- Туннельные микроскопы -- Наноструктуры (физ.) - Микроскопические исследования Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
З 85 Ф947/N37 З 85 / Ф947/N37-02 Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники = Fundamental bases of chemical vapour deposition procesess of films and structures for nanoelectronics / [Ф. А. Кузнецов и др.] ; отв. ред. Т. П. Смирнова ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии им. А. В. Николаева и др. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук, 2013. - 175 с. : ил. - (Интеграционные проекты СО РАН ; вып. 37). - Библиогр.: с. 156-171 Авт. указаны на обороте тит. л.
Рубрики: Наноэлектроника--Производство Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Кузнецов, Ф. А.; Воронков, М. Г.; Борисов, В. О.; Игуменов, И. К.; Смирнова, Т. П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |