З 85    Н254         Нанотехнологии в электронике : сб. науч. тр. / Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; под ред. А. А. Горбацевича. - М. : МИЭТ, 2007. - 167 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр. в конце ст. - 70 экз.. - 47.13 621.38-022.53(082)^V3 ББК З 856-06я43 Рубрики: нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Электроника -- Нанотехнология Доп.точки доступа: Горбацевич, А.А. \ред.\; Московский ин-т электронной техники Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    Д797     Дубровский, Владимир Германович.     Теория формирования эпитаксиальных наноструктур / В. Г. Дубровский. - М. : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 350 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр.: с. 338-350. - ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06 Рубрики: нанотехнология--в электронике Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    М292     Мартинес-Дуарт, Дж. М.     Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Дж. М. Мартинес-Дуарт, Р. Дж. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда ; пер. с англ. А.В. Хачояна ; под ред. Е.Б. Якимова. - 2-е изд., доп. - М. : Техносфера, 2009. - 367 с. : ил. ; 22 см. - (Мир материалов и технологий ; VI-24). - Библиогр. в конце разд. - 1500 экз.. - ГРНТИ 47.13 УДК 621.38^V3 ББК З 856-06 Рубрики: нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Наноструктуры (физ.) -- Нанотехнология -- Микроэлектроника -- Оптоэлектроника Доп.точки доступа: Мартин-Палма, Р. Дж.; Агулло-Руеда, Ф.; Якимов, Е.Б. \ред.\; Хачоян, А.В. \пер.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    П535         Получение и исследование наноструктур : лабораторный практикум по нанотехнологиям / [Евдокимов А. А. и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 146 с. : ил. ; 22 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 143-146 Авт. указаны на обороте тит. л. ГРНТИ 47.13 УДК 62-022.53(075.8)^V3 ББК З 856-06я73 Рубрики: нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Нанотехнология - Лабораторные работы на компьютерах Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Евдокимов, Анатолий Аркадьевич; Мишина, Е.Д.; Вальднер, В.О.; Долгова, Т.В.; Сигов, Александр Сергеевич \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 84    Г167     Галперин, Вячеслав Александрович.     Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. - ГРНТИ 47.13 УДК 621.382.049.77(075.8)^V3 ББК З 844.1-06я73 + З 856-06я73 Рубрики: микроэлектронные приборы--производство    нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    Н254 З 85 / Н254-02         Наноструктуры в электронике и фотонике / [Ф. Рахман, Х. Петтерсон, Р. Лью и др.] ; под ред. Ф. Рахмана; пер. с англ. Ю. А. Заболотной; под ред. Е. Л. Свинцова. - М. : Техносфера, 2010. - 343 с. : ил. ; 22 см. - (Мир радиоэлектроники ; XVII-01). - Библиогр. в конце гл. - 3000 экз. Авт. указаны в содерж. ГРНТИ 47.13 УДК 621.38-022.53^V3 ББК З 856-06 + З 854-06 Рубрики: нанотехнология--в электронике    нанотехнология--в фотонике Кл.слова (ненормированные): Наноструктуры (физ.) -- Наноэлектроника Доп.точки доступа: Рахман, Фаиз; Петтерсон, Хакан; Лью, Руишенг; Свинцов, Е.Л. \ред.\; Заболотная, Ю.А. \пер.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    М545 З 85 / М545-02         Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур : лабораторный практикум по нанотехнологиям : учебное пособие / [Е. Д. Мишина и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. - 184 с. : ил. - (Учебник для высшей школы). - Библиогр.: с. 181-184 Авт. указаны на обороте тит. л. ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06я73 Рубрики: Нанотехнология--В электронике Доп.точки доступа: Мишина, Е. Д.; Шерстюк, Н. Э.; Евдокимов, А. А.; Вальднер, В. О.; Сигов, А. С. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    Н254/N2 З 85 / Н254/N2-02     Нанотехнологии в электронике : [сборник] / под ред. Ю. А. Чаплыгина. - Москва : Техносфера.    Вып. 2. - 2013. - 686 с. : ил. - (Мир электроники ; VII-47). - Библиогр. в конце глав. - 250 экз.. - ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06 Рубрики: Нанотехнология--В электронике Доп.точки доступа: Чаплыгин, Юрий Александрович \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

Шифр см. у томов         Нанотехнологии в электронике : [сборник] / под ред. Ю. А. Чаплыгина. - Москва : Техносфера, 2013- . - (Мир электроники ; VII-47). - ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06 Рубрики: Нанотехнология--В электронике Доп.точки доступа: Чаплыгин, Юрий Александрович \ред.\ Свободных экз. нет

И-З 85    D84 И-З 85 / D84-02     Dubrovskii, Vladimir G..     Nucleation theory and growth of nanostructures / V. G. Dubrovskii. - Heidelberg [et al.] : Springer, 2014. - XIII,601 p. : ill. - (Nanoscience and technology, ISSN 1434-4904). - Bibliogr.: p. 573-589. - Ind.: p. 591-601 Перевод заглавия: Теория зарождения и роста наноструктур ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06 Рубрики: Нанотехнология--В электронике Перейти: Оглавление Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

И-З 84    C88 И-З 84 / C88-02     Cressler, John D..     Silicon Earth : introduction to the microelectronics and nanotechnology revolution / J. D. Cressler. - Cambridge [et al.] : Cambridge university press, 2009. - XVI,491 p., [16] p. col. ill. : ill. - Bibliogr. at the end of the chapters. - Ind.: p. 469-491 Перевод заглавия: Силиконовая земля: революция в микроэлектронике и нанотехнологии ГРНТИ 47.01 ББК З 844.1 + З 856-06 Рубрики: Микроэлектроника    Нанотехнология--В электронике Перейти: Оглавление Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

И-З 85    T90 И-З 85 / T90-02     Tu, King-Ning.     Kinetics in nanoscale materials / K. N. Tu, A. M. Gusak. - Hoboken : Wiley, 2014. - X,296 p. : ill. - Bibliogr. at the end of the chapters. - Ind.: p. 293-296 Перевод заглавия: Кинетика наноразмерных материалов ГРНТИ 47.09 81.09 47.13 ББК З 856-03 + Ж364.064 + Ж365.064 + З 856-06 Рубрики: Наноэлектроника--Материалы    Наноструктурные материалы--Физико-химические свойства    Сыпучие материалы--Физико-химические свойства    Нанотехнология--В электронике Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Gusak, Andriy M. Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    К43 З 85 / К43-02     Киреев, Валерий Юрьевич.     Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография-процессы и оборудование / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил. - Библиогр.: с. 314-319. - ГРНТИ 47.13 ББК З 856-06я73 + З 844.15-06я73 Рубрики: Нанотехнология--В электронике    Интегральные схемы--Производство Перейти: Оглавление Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

В37    К56 В37 / К56-02     Ковалев, Алексей Николаевич.     Физика и технология наноструктурных гетерокомпозиций : учебник : [для студентов вузов, обучающихся по техническим направлениям подготовки и специальностям] / А. Н. Ковалев, О. И. Рабинович, М. И. Тимошина ; М-во образования и науки РФ, Нац. исслед. технол. ун-т "МИСИС". - Москва : Издательский дом МИСИС, 2015. - 459 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 449-457. - 500 (1-й з-д 150) экз.. - ГРНТИ 29.19 47.13 47.33 УДК 621.382(075.8)^V3 ББК В379.2я73 + З 856-06я73 + З 854я73 Рубрики: Гетероструктуры полупроводниковые--Физические свойства    Нанотехнология--В электронике    Фотоэлектрические приборы    Оптоэлектронные приборы Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые соединения - Получение - Физико-химические основы -- полупроводниковые приборы -- солнечные фотоэлементы -- светодиоды -- инжекционные лазеры Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Рабинович, Олег Игоревич; Тимошина, Маргарита Игоревна Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 84    В191 З 84 / В191-02     Васильев, Владислав Юрьевич.     Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие] / В. Ю. Васильев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники]. - Новосибирск : Издательство НГТУ, 2019. - 105, [1] с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 99-103 (46 назв.). - Библиогр. в конце гл. - 50 экз.. - ГРНТИ 47.13 УДК 621.38.049.77(075.8)^V3 ББК З 844.1-060.7я73 + З 856-06я73 Рубрики: Осаждение--Тонких пленок--В микроэлектронике    Нанотехнология--В электронике Кл.слова (ненормированные): Пленки тонкие - Осаждение из газовой фазы Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)

З 85    Н254 З 85 / Н254-02         Нанотехнологии в микроэлектронике = Nanotechnology in microelectronics / Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. [и др.] ; под редакцией [и с предисловием] О. А. Агеева, Б. Г. Коноплева ; [Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"]. - Москва : Наука, 2019. - 511 с., [12] л. цв. ил. : ил. ; 25 см. - Библиогр. в конце гл. - 300 экз. Авт. указаны на обороте тит. л. ГРНТИ 47.13 УДК 621.382^V3 ББК З 856-06 Рубрики: Нанотехнология--В электронике Кл.слова (ненормированные): Наноэлектроника Доп.точки доступа: Авдеев, Сергей Петрович; Авилов, Вадим Игоревич; Агеев, Владислав Олегович; Агеев, Олег Алексеевич \ред.\; Коноплев, Борис Георгиевич \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)