Pr1068 Pr1068/401 Pr1068/401 / Pr1068/401-02 Strandman, Carola. Silicon micromachining with applications in microoptics : сборник / C. Strandman. - Uppsala : [s. n.], 1998. - 37 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 401) Bibliogr.: p. 32-37 Перевод заглавия: Микрообработка кремния в приложении к микрооптике Рубрики: Оптоэлектронные приборы--Производство Оптические приборы--Производство Кл.слова (ненормированные): оптические датчики -- оптические зеркала Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |