Pr1068 Pr1068/594 Pr1068/594 / Pr1068/594-02 Schuisky, Mikael. CVD and ALD in the Bi-Ti-O system : сборник / M. Schuisky. - Uppsala : [s. n.], 2000. - 47 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 594) Bibliogr.: p. 43-46 Перевод заглавия: Химическое осаждение из паровой фазы и отложение атомарного слоя в системе Bi-Ti-O Рубрики: осаждение--тонких пленок--в микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): окислы титана -- окислы висмута -- эпитаксия Дескрипторы: сб пр -- моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |