Pr867 Pr867/214 Pr867/214 / Pr867/214-02 Science and engineering of one- and zero-dimensional semiconductors : Proc. of a NATO advanced research workshop on..., 1989, Cadiz, Spain / ed. by S. P. Beaumont, C. M., C. M. Sotomayor Torres. - New York ; london : Plenum, 1990. - XI,339 p. : Ill. - (NATO ASI series. Series B: Physics ; vol. 214). - Bibliogr. at the end of the art. - Auth., subject ind.: p. 335-339 Перевод заглавия: Наука и техника одно- и нульмерных полупроводников Рубрики: Полупроводниковая технология Полупроводники--Физика Оптические свойства--Полупроводников Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- свойства -- литография Дескрипторы: сб пр -- конф Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr910 Pr910/537 Pr910/537 / Pr910/537-02 Polymers for microelectronics: resists and dielectrics : 203rd Nat. met. of the Amer. chem. soc., San Francisco, Calif., Apr. 5-10, 1992 / Eds.: L. F. Thompson et al. - Washington : Amer. chem. soc., 1994. - XII,571 p. : Ill. - (ACS symposium series, ISSN 0097-6156 ; 537). - Bibliogr. at the end of the chapters . - Auth., subject ind.: p. 556-571 Перевод заглавия: Полимеры для микроэлектроники: резисты и диэлектрики Рубрики: Резисты--В микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): диэлектрики -- лазерная литография Дескрипторы: сб пр -- конф Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |
Pr1102 Pr1102/6998 Pr1102/6998 / Pr1102/6998-02 Heldele, Richard. Rontgenlithographie, Vernetzungs- und Pyrolyseverhalten des prakeramischen Polymers ABSE / R. Heldele. - Karlsruhe : [s. n.], 2004. - VII,98 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum (Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; FZKA 6998). - Res. auch Engl. - Bibliogr.: S. 94-96 Перевод заглавия: Рентгеновская литография, образование поперечных связей и пиролизное поведение полимера ABSE
Рубрики: Микроэлектронная технология Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |