Pr910 Pr910/537 Pr910/537 / Pr910/537-02 Polymers for microelectronics: resists and dielectrics : 203rd Nat. met. of the Amer. chem. soc., San Francisco, Calif., Apr. 5-10, 1992 / Eds.: L. F. Thompson et al. - Washington : Amer. chem. soc., 1994. - XII,571 p. : Ill. - (ACS symposium series, ISSN 0097-6156 ; 537). - Bibliogr. at the end of the chapters . - Auth., subject ind.: p. 556-571 Перевод заглавия: Полимеры для микроэлектроники: резисты и диэлектрики Рубрики: Резисты--В микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): диэлектрики -- лазерная литография Дескрипторы: сб пр -- конф Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |