З 84 П226 З 84 / П226-02 Пащенко, Александр Сергеевич. Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике = Ion-plasma technologies in micro- and nanoelectronics / А. С. Пащенко, П. С. Пляка, В. О. Пономаренко ; Рос. акад. наук, Юж. науч. центр. - Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 168-175. - 200 экз. На тит. с.: Юж. науч. центр Рос. акад. наук - 10 лет
Рубрики: Осаждение--Тонких пленок--В микроэлектронике Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменное напыление тонких пленок Доп.точки доступа: Пляка, Павел Стефанович; Пономаренко, Валерий Олегович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |