З 84 В191 З 84 / В191-02 Васильев, Владислав Юрьевич. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие] / В. Ю. Васильев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники]. - Новосибирск : Издательство НГТУ, 2019. - 105, [1] с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 99-103 (46 назв.). - Библиогр. в конце гл. - 50 экз.. -
Рубрики: Осаждение--Тонких пленок--В микроэлектронике Нанотехнология--В электронике Кл.слова (ненормированные): Пленки тонкие - Осаждение из газовой фазы Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |