З 84 В24/N1 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. - Москва : Бином. Лаборатория знаний. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. -
Рубрики: интегральные схемы--производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы Доп.точки доступа: Чистяков, Юрий Дмитриевич; Райнова, Юлия Петровна Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |