З 84 Г167 Галперин, Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. -
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство нанотехнология--в электронике Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |