Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Галперин, Вячеслав Александрович$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   З 84
   Г167

    Галперин, Вячеслав Александрович.
    Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. -
ГРНТИ
47.13
УДК
621.382.049.77(075.8)^V3
ББК З 844.1-06я73 + З 856-06я73
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство
   нанотехнология--в электронике
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление

Держатели документа:
ГПНТБ России

Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 21-16-2011
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН