Отделение ГПНТБ СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектронные приборы -- Производство<.>)

Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7

   З 84
   Я89

    Яфаров, Равиль Кяшшафович.
    Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 205-216. - 300 экз.. -

ГРНТИ	47.13
УДК	621.385.6-022.53^V3

ББК З 844.1-060.14
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное

Держатели документа:
ГПНТБ СО РАН
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 28-9-2010
Найти похожие

   З 84
   Г167

    Галперин, Вячеслав Александрович.
    Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. -

ГРНТИ	47.13
УДК	621.382.049.77(075.8)^V3

ББК З 844.1-06я73 + З 856-06я73
Рубрики: микроэлектронные приборы--производство
нанотехнология--в электронике
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление

Держатели документа:
ГПНТБ России

Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 21-16-2011
Найти похожие

   Г54
   Е924
Г54 / Е924-02

    Ефремов, Александр Михайлович.
    Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2013. - 215 с. : ил. ; 23 см. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце докл. - 300 экз.. -

ГРНТИ	31.15	29.27	47.13	31.17
УДК	546.13:544.55^V3

ББК Г542.52 + В333.4 + З 844.1-06
Рубрики: Плазма--Химические реакции в плазме
Газоразрядная плазма
Микроэлектронные приборы--Производство
Кл.слова (ненормированные):
Хлор - Физико-химические свойства -- Плазма (физ.) газоразрядная - Физика

Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 71-3-2013но
Найти похожие

   Pr1068
   Pr1068/445
Pr1068/445 / Pr1068/445-02

    Jonsson, Lars B.
    Experiments and modeling of thin film processes : сборник / L.B. Jonsson. - Uppsala : [s. n.], 1999. - 47 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 445)
Bibliogr.: p. 46-47
Перевод заглавия: Эксперименты и моделирование процессов в тонких пленках

47.13.11

ББК З 844.1-06
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство
Кл.слова (ненормированные):
микрочипы
Дескрипторы: сб пр -- моногр

Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 79-3-99+02
Найти похожие

   И-З 84
   D46
И-З 84 / D46-02


    Design of systems on a chip: design and test / ed. by R. Reis [et al.]. - Dordrecht : Springer, 2006. - X,233 p. : ill. - Bibliogr. at the end of the chapters. - Auth. ind.: p. 233
Перевод заглавия: Проектирование систем на чипе: проектирование и испытания

ГРНТИ

47.13

47.14

ББК З 844.1я43
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Проектирование
Микроэлектронные приборы--Производство
Микроэлектронные приборы--Технический контроль

Перейти: Оглавление

Доп.точки доступа:
Reis, R. \ed.\
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 42-2-2014+02
Найти похожие

   И-З 84
   Н254
И-З 84 / Н254-02


    Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / [В. А. Емельянов [и др.] ; НАН Беларуси, Объед. ин-т машиностроения. - Минск : Беларуская навука, 2014. - 411 с. : ил. - Библиогр.: с. 382-407
Авт. указаны на обороте тит. л.

ГРНТИ

47.13

ББК З 844.1-06
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство

Перейти: Оглавление

Доп.точки доступа:
Емельянов, Виктор Андреевич; Рогачев, Александр Владимирович; Федосенко, Николай Николаевич; Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 10-16-2015+02
Найти похожие

   З 84
   И265
З 84 / И265-02

    Игнатов, Александр Николаевич.
    Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие: [по направлению подготовки 210400 "Телекоммуникация"] / А. Н. Игнатов, И. В. Решетнева ; Федер. агентство связи, Сиб. гос. ун-т телекоммуникаций и информатики. - Новосибирск : СибГУТИ, 2011. - 211 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 206-211. -

ГРНТИ	47.01
УДК	621.38:66.0^V3

ББК З 844.1я73 + З 856я73
Рубрики: Микроэлектроника--Материалы
   Микроэлектронные приборы--Производство
   Наноэлектроника--Материалы
   Наноэлектронные устройства--Производство

Перейти: Оглавление

Доп.точки доступа:
Решетнева, Ирина Владимировна
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 37-1-2015но
Найти похожие

Базы данных

Всего записей: 50699 Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска