Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=циркония и гафния<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   Pr1068
   Pr1068/665
Pr1068/665 / Pr1068/665-02

    Forsgren, Katarina.
    CVD and ALD of group IV- and V-oxides for dielectric applications : сборник / K. Forsgren. - Uppsala : [s. n.], 2001. - 55 p. : Ill. - (Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X ; 665)
Bibliogr.: p. 49-55
Перевод заглавия: Химическое парофазное осаждение и отложение атомарного слоя материалов IV группы и V-окислов для диэлектрических применений
47.13.11
ББК З 844.1-060.7
Рубрики: осаждение--тонких пленок--в микроэлектронике
Кл.слова (ненормированные):
газофазное осаждение -- окислы тантала -- циркония и гафния
Дескрипторы: сб пр -- моногр

Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 89-14-2001+02
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН