Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   З 84
   В24/N1

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. - Москва : Бином. Лаборатория знаний.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. -
ГРНТИ
47.13
УДК
621.38^V3
ББК З 844.15я73
Рубрики: интегральные схемы--производство
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы


Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич; Райнова, Юлия Петровна
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)
Инвентарный номер: 70-3-2010
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН