Главная
Упрощенный режим
Описание
Шлюз Z39.50
Отделение ГПНТБ СО РАН
Базы данных
Всего записей: 50699
Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска
Вид поиска
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Персоналия
Характер документа
Коллектив/Мероприятие
Предметные рубрики
Персоналия
Сигла библиотек
Тип/вид документа
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>K=Микроэлектронные схемы интегральные - Ионно-плазменное травление<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
З 84
Г167
Галперин, Вячеслав Александрович
.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 275-280. - 230 экз.. -
ГРНТИ
47.13
УДК
621.382.049.77(075.8)^V3
ББК
З 844.1-06я73 + З 856-06я73
Рубрики:
микроэлектронные
приборы--производство
нанотехнология--в электронике
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные
схемы
интегральные
-
Ионно
-
плазменное
травление
Держатели документа:
ГПНТБ России
Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\
Экземпляры всего:
1
02 (1)
Свободны:
02 (1)
Инвентарный номер:
21-16-2011
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН