Главная
Упрощенный режим
Описание
Шлюз Z39.50
Отделение ГПНТБ СО РАН
Базы данных
Всего записей: 50699
Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска
Вид поиска
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Персоналия
Характер документа
Коллектив/Мероприятие
Предметные рубрики
Персоналия
Сигла библиотек
Тип/вид документа
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>S=Микроэлектронные приборы -- Производство<.>)
Общее количество найденных документов
:
7
Показаны документы
с 1 по 7
1.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: И-З 84/D46
Заглавие
: Design of systems on a chip: design and test
Выходные данные
: Dordrecht: Springer, 2006
Колич.характеристики
:X,233 p.: ill.
Примечания
: Bibliogr. at the end of the chaptersAuth. ind.: p. 233
ISBN, Цена
0-387-32499-2: 237.60 р.
ГРНТИ
: 47.13 + 47.14
ББК
: З 844.1я43
Предметные рубрики:
Микроэлектронные приборы-- Проектирование
Микроэлектронные приборы-- Производство
Микроэлектронные приборы-- Технический контроль
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Перейти:
Оглавление
Найти похожие
2.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: И-З 84/Н254
Автор(ы)
: Емельянов, Виктор Андреевич, Рогачев, Александр Владимирович, Федосенко, Николай Николаевич, Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич
Заглавие
: Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике
Выходные данные
: Минск: Беларуская навука, 2014
Колич.характеристики
:411 с.: ил.
Примечания
: Библиогр.: с. 382-407. - Авт. указаны на обороте тит. л.
ISBN, Цена
978-985-08-1764-8: 410 р.
ГРНТИ
: 47.13
ББК
: З 844.1-06
Предметные рубрики:
Микроэлектронные приборы-- Производство
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Перейти:
Оглавление
Найти похожие
3.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: З 84/И265
Автор(ы)
: Игнатов, Александр Николаевич, Решетнева, Ирина Владимировна
Заглавие
: Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие: [по направлению подготовки 210400 "Телекоммуникация"]
Выходные данные
: Новосибирск: СибГУТИ, 2011
Колич.характеристики
:211 с.: ил.; 21 см.
Примечания
: Библиогр.: с. 206-211
Цена
: 120 р.
ГРНТИ
: 47.01
УДК
: 621.38:66.0
ББК
: З 844.1я73 + З 856я73
Предметные рубрики:
Микроэлектроника-- Материалы
Микроэлектронные приборы-- Производство
Наноэлектроника-- Материалы
Наноэлектронные устройства-- Производство
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Перейти:
Оглавление
Найти похожие
4.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: Pr1068/Pr1068/445
Автор(ы)
: Jonsson, Lars B
Заглавие
: Experiments and modeling of thin film processes : сборник
Выходные данные
: Uppsala, 1999
Колич.характеристики
:47 p.: Ill.
Серия:
Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 445
Примечания
: Bibliogr.: p. 46-47
ISBN, Цена
91-554-4442-3: Б.ц.
ГРНТИ
: 47.13.11
ББК
: З 844.1-06
Предметные рубрики:
Микроэлектронные приборы-- Производство
Дескрипторы:
сб пр--моногр
Ключевые слова
(''Своб.индексиров.''): микрочипы
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Найти похожие
5.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: З 84/Я89
Автор(ы)
: Яфаров, Равиль Кяшшафович
Заглавие
: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Выходные данные
: М.: Физматлит, 2009
Колич.характеристики
:216 с.: ил.; 22 см.
Примечания
: Библиогр.: с. 205-216
ISBN, Цена
978-5-9221-1150-8: 60 р.
ГРНТИ
: 47.13
УДК
: 621.385.6-022.53
ББК
: З 844.1-060.14
Предметные рубрики:
микроэлектронные приборы-- производство
Ключевые слова
(''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные - травление вакуумно-плазменное
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Найти похожие
6.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: З 84/Г167
Автор(ы)
: Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Заглавие
: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Выходные данные
: Москва: Бином. Лаборатория знаний, 2010
Колич.характеристики
:283 с.: ил.; 23 см.
Примечания
: Библиогр.: с. 275-280
ISBN, Цена
978-5-9963-0032-7: 90 р.
ГРНТИ
: 47.13
УДК
: 621.382.049.77(075.8)
ББК
: З 844.1-06я73 + З 856-06я73
Предметные рубрики:
микроэлектронные приборы-- производство
нанотехнология-- в электронике
Ключевые слова
(''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные - ионно-плазменное травление
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Найти похожие
7.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: Г54/Е924
Автор(ы)
: Ефремов, Александр Михайлович, Светцов, Владимир Иванович
Заглавие
: Неравновесная плазма хлора : свойства и применение
Выходные данные
: Москва: Физматлит, 2013
Колич.характеристики
:215 с.: ил.; 23 см.
Серия:
Фундаментальная и прикладная физика
Примечания
: Библиогр. в конце докл.
ISBN, Цена
978-5-9221-1406-6: 277.20 р.
ГРНТИ
: 31.15 + 29.27 + 47.13 + 31.17
УДК
: 546.13:544.55
ББК
: Г542.52 + В333.4 + З 844.1-06
Предметные рубрики:
Плазма-- Химические реакции в плазме
Газоразрядная плазма
Микроэлектронные приборы-- Производство
Ключевые слова
(''Своб.индексиров.''): хлор - физико-химические свойства--плазма (физ.) газоразрядная - физика
Экземпляры
:02(1)
Свободны
: 02(1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН