Поисковый запрос: (<.>R=47.13$<.>) |
Общее количество найденных документов : 77
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/2
Заглавие : Микроструктурирование тонких пленок
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1991
Колич.характеристики :112 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.2
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006817-9: 20, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.15-06
Предметные рубрики: Сверхбольшие интегральные схемы-- Производство
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/3
Заглавие : Моделирование технологических процессов микроэлектроники
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1992
Колич.характеристики :120 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.3
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006867-5: 23, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06-642с512я43
Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Автоматизация технологических процессов
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/4
Заглавие : Проблемы микроэлектронной технологии
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1992
Колич.характеристики :100 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.4
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006868-3: 25, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06я43
Предметные рубрики: Микроэлектронная технология
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3888/Пр3888/62
Заглавие : Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
: сборник
Выходные данные : М.: Наука, 2006
Колич.характеристики :142,[5] с.:
ил.; 24 см.
Серия: Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова/ Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390; т. 62
Примечания : Библиогр. в конце ст. - Рез. ст. англ.
ISBN, Цена 5-02-034130-4: 80 р.
ГРНТИ : 90.27.27 + 47.13.11
УДК : [53 + 621.38](082)
ББК : Ж107.1я43 + З 844.1-06я43
Предметные рубрики: Микроэлектронная технология
Линейные размеры-- измерения
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): линейные измерения
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3888/Пр3888/49
Заглавие : Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1995
Колич.характеристики :165 с.:
ил.
Серия: Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова/ Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390; Т.49
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-000828-1: Б.ц.
ГРНТИ : 90.27.27 + 47.13.81
ББК : З 844.1-06-7в734я43 + Ж107.1я43
Предметные рубрики: Микроэлектронные приборы-- Производственный контроль-- Оптические методы
Линейные размеры-- Измерение
Дескрипторы: сб пр--сб
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/1
Заглавие : Проблемы микроэлектроники
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1991
Колич.характеристики :95 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.1
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006816-0: 4, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06я43
Предметные рубрики: Микроэлектронная технология
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/5
Заглавие : Диагностика микроэлектронных структур
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1993
Колич.характеристики :112 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.5
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006981-7: 100, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06-7я43
Предметные рубрики: Аппаратура микроэлектронная-- Производственный контроль
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/8
Заглавие : Проблемы микроэлектронной технологии
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1994
Колич.характеристики :128 с.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.8
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-007030-0: 600, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06я43
Предметные рубрики: Микроэлектронная технология
Дескрипторы: сб пр--сб
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : И-З 85/T30
Заглавие : Technology evolution for silicon nano-electronics
: sel. peer rev. papers from the proc. of the Intern. symp. on technology evolution for silicon nano-electronics 2010, June 3-5, 2010, Tokyo
Выходные данные : Stafa-Zurich; Enfield: Trans Tech publ., 2011
Колич.характеристики :XI,234 p.:
ill.
Коллективы :
International Symposium on technology evolution for silicon nano-electronics (2010; Tokyo)
Серия: Key engineering materials, ISSN 1013-9826; Vol. 470
Примечания : Bibliogr. at the end of the art.Keyword ind.: p. 231-234
ISBN, Цена 978-3-03785-051-0: 157.50 р.
ГРНТИ : 47.13
ББК : З 856я431
Предметные рубрики: Наноэлектроника
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Перейти: оглавление
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Продолжающееся издание
Шифр издания : Пр3939/Пр3939/6
Заглавие : Проблемы субмикронной технологии
: сборник
Выходные данные : Москва: Наука, 1993
Колич.характеристики :113 с., включ. обл.:
ил.
Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.6
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-006991-4: 200, р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-06я43
Предметные рубрики: Микроэлектронная технология
Дескрипторы: сб пр
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная
Описание
Шлюз Z39.50
Стандартный