Поисковый запрос: (<.>R=47.13$<.>) |
Общее количество найденных документов : 77
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/2 Пр3939/2 / Пр3939/2-02
Микроструктурирование тонких пленок : сборник / Отв. ред. А.А. Орликовский. - Москва : Наука, 1991. - 112 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.2). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.15-06 Рубрики: Сверхбольшие интегральные схемы--Производство Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 12-19-93но Найти похожие
|
2. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/3 Пр3939/3 / Пр3939/3-02
Моделирование технологических процессов микроэлектроники : сборник / Отв. ред.: Т.М. Махвиладзе. - Москва : Наука, 1992. - 120 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.3). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06-642с512я43 Рубрики: Микроэлектроника--Автоматизация технологических процессов Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Махвиладзе, Т.М. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 7-6-93но Найти похожие
|
3. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/4 Пр3939/4 / Пр3939/4-02
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Отв. ред.: Л.В. Великов. - Москва : Наука, 1992. - 100 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.4). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06я43 Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Великов, Л.В. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 18-12-93но Найти похожие
|
4. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3888 Пр3888/62 Пр3888/62 / Пр3888/62-02
Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии : сборник / отв. ред. Ю. А. Новиков. - М. : Наука, 2006. - 142,[5] с. : ил. ; 24 см. - (Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390 ; т. 62). - Библиогр. в конце ст. - 400 экз. Рез. ст. англ.ББК Ж107.1я43 + З 844.1-06я43 Рубрики: Микроэлектронная технология Линейные размеры--измерения Кл.слова (ненормированные): Линейные измерения
Доп.точки доступа: Новиков, Ю.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 45-24-2007но Найти похожие
|
5. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3888 Пр3888/49 Пр3888/49 / Пр3888/49-02
Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах : сборник / Отв. ред. Раков А.В. - Москва : Наука, 1995. - 165 с. : ил. - (Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390 ; т.49). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06-7в734я43 + Ж107.1я43 Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производственный контроль--Оптические методы Линейные размеры--Измерение Дескрипторы: сб пр -- сб
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 7-9-96но Найти похожие
|
6. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/1 Пр3939/1 / Пр3939/1-02
Проблемы микроэлектроники : сборник / Отв. ред. В.И. Рыжий. - Москва : Наука, 1991. - 95 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.1). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06я43 Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Рыжий, В.И. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 16-17-92но Найти похожие
|
7. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/5 Пр3939/5 / Пр3939/5-02
Диагностика микроэлектронных структур : сборник / Отв. ред. А.М. Афанасьев. - Москва : Наука, 1993. - 112 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.5). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06-7я43 Рубрики: Аппаратура микроэлектронная--Производственный контроль Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Афанасьев, А.М. \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 33-10-93но Найти похожие
|
8. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/8 Пр3939/8 / Пр3939/8-02
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Отв. ред. А.А. Орликовский. - Москва : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.8). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06я43 Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр -- сб
Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 25-6-94но Найти похожие
|
9. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| И-З 85 T30 И-З 85 / T30-02
Technology evolution for silicon nano-electronics : sel. peer rev. papers from the proc. of the Intern. symp. on technology evolution for silicon nano-electronics 2010, June 3-5, 2010, Tokyo / ed. by S. Miyazaki, H. Tabata. - Stafa-Zurich ; Enfield : Trans Tech publ., 2011. - XI,234 p. : ill. - (Key engineering materials, ISSN 1013-9826 ; vol. 470). - Bibliogr. at the end of the art. - Keyword ind.: p. 231-234 Перевод заглавия: Развитие технологии для кремниевой наноэлектроникиББК З 856я431 Рубрики: Наноэлектроника
Перейти: оглавление Доп.точки доступа: Miyazaki, S. \ed.\; Tabata, H. \ed.\; International Symposium on technology evolution for silicon nano-electronics (2010 ; Tokyo)
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 18-6-2014+02 Найти похожие
|
10. ![](http://irbis.prometeus.sbras.ru/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Пр3939 Пр3939/6 Пр3939/6 / Пр3939/6-02
Проблемы субмикронной технологии : сборник / Отв. ред. А.А. Орликовский. - Москва : Наука, 1993. - 113 с., включ. обл. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.6). - Библиогр. в конце ст. - ББК З 844.1-06я43 Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр
Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \ред.\
Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) Инвентарный номер: 4-17-94но Найти похожие
|
|
|