Главная
Упрощенный режим
Описание
Шлюз Z39.50
Отделение ГПНТБ СО РАН
Базы данных
Всего записей: 50699
Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска
Вид поиска
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Персоналия
Характер документа
Коллектив/Мероприятие
Предметные рубрики
Персоналия
Сигла библиотек
Тип/вид документа
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>K=Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
З 84
В24/N1
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. - Москва : Бином. Лаборатория знаний.
Т. 1
: Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. -
ГРНТИ
47.13
УДК
621.38^V3
ББК
З 844.15я73
Рубрики:
интегральные схемы--производство
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физико-химические основы
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич; Райнова, Юлия Петровна
Экземпляры всего:
1
02 (1)
Свободны:
02 (1)
Инвентарный номер:
70-3-2010
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН