Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Forsgren, Katarina$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Pr1068/Pr1068/665
Автор(ы) : Forsgren, Katarina
Заглавие : CVD and ALD of group IV- and V-oxides for dielectric applications : сборник
Выходные данные : Uppsala, 2001
Колич.характеристики :55 p.: Ill.
Серия: Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 665
Примечания : Bibliogr.: p. 49-55
ISBN, Цена 91-554-51443-8: 17 р.
ГРНТИ : 47.13.11
ББК : З 844.1-060.7
Предметные рубрики: осаждение-- тонких пленок-- в микроэлектронике
Дескрипторы: сб пр--моногр
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газофазное осаждение--окислы тантала--циркония и гафния
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН