Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50

Базы данных

Всего записей: 50699

Каталог книг и сборников Отделения ГПНТБ (1991- ) - результаты поиска

Вид поиска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Галперин, Вячеслав Александрович$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : З 84/Г167
Автор(ы) : Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Заглавие : Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Выходные данные : Москва: Бином. Лаборатория знаний, 2010
Колич.характеристики :283 с.: ил.; 23 см.
Примечания : Библиогр.: с. 275-280
ISBN, Цена 978-5-9963-0032-7: 90 р.
ГРНТИ : 47.13
УДК : 621.382.049.77(075.8)
ББК : З 844.1-06я73 + З 856-06я73
Предметные рубрики: микроэлектронные приборы-- производство
нанотехнология-- в электронике
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные - ионно-плазменное травление
Экземпляры :02(1)
Свободны : 02(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
© 1997-2017 Отделение ГПНТБ СО РАН