Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : И-З 84/B55 Автор(ы) : Bhattacharyya, Bijoy Заглавие : Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology Выходные данные : Amsterdam; Boston; Heidelberg: Elsevier/ William Andrews, 2015 Колич.характеристики :XXV,270 p.: ill., tab. Серия: Micro & nano technologies series Примечания : Bibliogr. at the end of the chaptersInd.: p. 259-270 ISBN, Цена 978-0-323-32737-4: 480 р. ГРНТИ : 81.13 ББК : З 844.1 Предметные рубрики: Микроэлектромеханические системы Нанотехнология Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроинструменты Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)