Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 3/П845 Заглавие : Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур : Тр. второго рос. симп., Обнинск, 22-24 сент. 1997 г. Выходные данные : Обнинск, 1998 Колич.характеристики :408 с.: ил Примечания : В надзаг.: Гос. науч. центр Рос. Федерации Физ.-энерг. ин-т им. А.И. Лейпунского. - Библиогр. в конце докл Цена : Б.ц. ГРНТИ : 29.19.15 + 30.17.35 + 47.13.11 ББК : З 312я431 + З 844.1-060.7я431 + В375.147я431 Предметные рубрики: выращивание кристаллов и монокристаллов, Чохральского метод тепломассоперенос микроэлектроника, полупроводниковые приборы, производство, покрытия Дескрипторы: конф Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)