Вид документа : Продолжающееся издание Шифр издания : Пр3939/Пр3939/6 Заглавие : Проблемы субмикронной технологии : сборник Выходные данные : Москва: Наука, 1993 Колич.характеристики :113 с., включ. обл.: ил. Серия: Труды ФТИАН/ Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129; Т.6 Примечания : Библиогр. в конце ст. ISBN, Цена 5-02-006991-4: 200, р. ГРНТИ : 47.13.11 ББК : З 844.1-06я43 Предметные рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \ред.\