Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 85/К43 Автор(ы) : Киреев, Валерий Юрьевич, Заглавие : Нанотехнологии в микроэлектронике . Нанолитография-процессы и оборудование/ В. Ю. Киреев Выходные данные : Долгопрудный: Интеллект, 2016 Колич.характеристики :319 с.: ил.; [4] л. ил. Примечания : Библиогр.: с. 314-319 ISBN, Цена 978-5-91559-215-4: 1210 р. ГРНТИ : 47.13 ББК : З 856-06я73 + З 844.15-06я73 Предметные рубрики: Нанотехнология-- В электронике Интегральные схемы-- Производство Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)