Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : В34/Э474 Заглавие : Эллипсометрия: теория, методы, приложения : Сб. науч. тр. [Материалы IV Всесоюз. конф. по эллипсометрии, 19-21 июля 1989 г., г. Новосибирск] Выходные данные : Новосибирск: Наука, Сиб. отделение, 1991 Колич.характеристики :252 с.: ил. Примечания : Библиогр. в конце ст. - В надзаг.: АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - ISBN, Цена 5-02-029916-2: Б.ц. ГРНТИ : 29.31.15 ББК : В343.53я43 Предметные рубрики: Эллипсометрия Дескрипторы: КОНФ.В Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)