Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : И-З 85/H22 Заглавие : Handbook of semiconductor manufacturing technology . -2nd ed. Выходные данные : Boca Raton; London; New York: CRC press; Boca Raton; London; New York: Taylor & Francis, 2008 Колич.характеристики :1 vol. (pag. var.): Ill.; 25 cm Примечания : Bibliogr. at the end of the chaptersInd. at the end of the book ISBN, Цена 1-57444-675-4: Б.ц. ISBN, Цена 978-1-57444-675-3: 2002 р. ГРНТИ : 47.13 ББК : З 852-06я22 Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы-- Производство Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Doering, Robert \ed.\; Nishi, Yoshio \ed.\