Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 84/И265 Автор(ы) : Игнатов, Александр Николаевич, Решетнева, Ирина Владимировна Заглавие : Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие: [по направлению подготовки 210400 "Телекоммуникация"] Выходные данные : Новосибирск: СибГУТИ, 2011 Колич.характеристики :211 с.: ил.; 21 см. Примечания : Библиогр.: с. 206-211 Цена : 120 р. ГРНТИ : 47.01 УДК : 621.38:66.0 ББК : З 844.1я73 + З 856я73 Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Материалы Микроэлектронные приборы-- Производство Наноэлектроника-- Материалы Наноэлектронные устройства-- Производство Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Решетнева, Ирина Владимировна