Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Шифр см. у томов Заглавие : Particles in gases and liquids: detection, characterization, and control Выходные данные : New York; London: Plenum press, 19 - Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.13.11 ББК : З 844.1-06-43я431 Предметные рубрики: Чистые производственные помещения-- Для производства микроэлектронных изделий Дескрипторы: многот--конф.м Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микрозагрязнения--чистое производство Доп.точки доступа: Mittal, K.L. \ed.\