Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : И-З 84/Н254 Автор(ы) : Емельянов, Виктор Андреевич, Рогачев, Александр Владимирович, Федосенко, Николай Николаевич, Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич Заглавие : Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике Выходные данные : Минск: Беларуская навука, 2014 Колич.характеристики :411 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 382-407. - Авт. указаны на обороте тит. л. ISBN, Цена 978-985-08-1764-8: 410 р. ГРНТИ : 47.13 ББК : З 844.1-06 Предметные рубрики: Микроэлектронные приборы-- Производство Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Емельянов, Виктор Андреевич; Рогачев, Александр Владимирович; Федосенко, Николай Николаевич; Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич