Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Pr1068/Pr1068/475 Автор(ы) : Vangbo, Mattias Заглавие : In the structure of microstructure technology : сборник Выходные данные : Uppsala, 1999 Колич.характеристики :53 p.: Ill. Серия: Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 475 Примечания : Bibliogr.: p. 51-53 ISBN, Цена 91-554-4537-3: Б.ц. ГРНТИ : 47.13.11 ББК : З 844.1-06 Предметные рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр--моногр Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химическое травление--микроструктуры Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)