Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Pr1068/Pr1068/421 Автор(ы) : Martensson, Per Заглавие : Atomic layer epitaxy of copper : сборник Выходные данные : Uppsala, 1999 Колич.характеристики :45 p.: Ill. Серия: Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 421 Примечания : Bibliogr.: p. 42-45 ISBN, Цена 91-554-4377-X: Б.ц. ГРНТИ : 55.22.19 ББК : К663.232.1-1 Предметные рубрики: Меднение металлов Дескрипторы: сб пр--моногр Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомные слои--эпитаксия Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)