Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Pr1068/Pr1068/401 Автор(ы) : Strandman, Carola Заглавие : Silicon micromachining with applications in microoptics : сборник Выходные данные : Uppsala, 1998 Колич.характеристики :37 p.: Ill. Серия: Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 401 Примечания : Bibliogr.: p. 32-37 ISBN, Цена 91-554-4314-1: Б.ц. ГРНТИ : 59.13 ББК : З 854.3-06 + К960.42 Предметные рубрики: Оптоэлектронные приборы-- Производство Оптические приборы-- Производство Дескрипторы: сб пр--моногр Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптические датчики--оптические зеркала Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)