Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Pr1068/Pr1068/258 Автор(ы) : Hedlund, Christer Заглавие : Modeling, simulation and experimental studies of plasma processing : сборник Выходные данные : Uppsala, 1997 Колич.характеристики :48 p.: Ill. Серия: Acta universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology, ISSN 1104-232X; 258 Примечания : Bibliogr.: p. 48 ISBN, Цена 91-554-3922-5: Б.ц. ГРНТИ : 29.27.03 ББК : В333.4 Предметные рубрики: Плазма-- Физика Дескрипторы: сб пр--дис Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма--физика Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1)