Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Г54/Е924 Автор(ы) : Ефремов, Александр Михайлович, Светцов, Владимир Иванович Заглавие : Неравновесная плазма хлора : свойства и применение Выходные данные : Москва: Физматлит, 2013 Колич.характеристики :215 с.: ил.; 23 см. Серия: Фундаментальная и прикладная физика Примечания : Библиогр. в конце докл. ISBN, Цена 978-5-9221-1406-6: 277.20 р. ГРНТИ : 31.15 + 29.27 + 47.13 + 31.17 УДК : 546.13:544.55 ББК : Г542.52 + В333.4 + З 844.1-06 Предметные рубрики: Плазма-- Химические реакции в плазме Газоразрядная плазма Микроэлектронные приборы-- Производство Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): хлор - физико-химические свойства--плазма (физ.) газоразрядная - физика Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Светцов, Владимир Иванович