Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 84/Г167 Автор(ы) : Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович Заглавие : Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие Выходные данные : Москва: Бином. Лаборатория знаний, 2010 Колич.характеристики :283 с.: ил.; 23 см. Примечания : Библиогр.: с. 275-280 ISBN, Цена 978-5-9963-0032-7: 90 р. ГРНТИ : 47.13 УДК : 621.382.049.77(075.8) ББК : З 844.1-06я73 + З 856-06я73 Предметные рубрики: микроэлектронные приборы-- производство нанотехнология-- в электронике Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные - ионно-плазменное травление Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\