Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : Шифр см. у томов Заглавие : Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : [учеб. пособие для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"] Выходные данные : Москва: Бином. Лаб. знаний, 2010- ISBN, Цена 978-5-94774-913-7: Б.ц. ГРНТИ : 47.01 ББК : З 843.08я73 Предметные рубрики: радиотехнические материалы-- производство