Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 84/Я89 Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшшафович Заглавие : Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Выходные данные : М.: Физматлит, 2009 Колич.характеристики :216 с.: ил.; 22 см. Примечания : Библиогр.: с. 205-216 ISBN, Цена 978-5-9221-1150-8: 60 р. ГРНТИ : 47.13 УДК : 621.385.6-022.53 ББК : З 844.1-060.14 Предметные рубрики: микроэлектронные приборы-- производство Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные - травление вакуумно-плазменное Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Держатели документа: ГПНТБ СО РАН