Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Шифр см. у томов/Э687 Заглавие : Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников Выходные данные : Воронеж: Водолей, 2004- Перевод издания: Handbook of semiconductor technology Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.13.11 ББК : З 843.308я20 Предметные рубрики: Полупроводниковая технология Полупроводниковые материалы-- производство Доп.точки доступа: Джексон, К.А. \ред.\